Processos de fabricação de wafer de silício
Isolamento de alta temperatura para extrator CZ e forno DSS
A Mersen fornece soluções sustentáveis e eficientes, que garantem a pureza dos wafers e o controle de zonas quentes durante a cristalização.
A Mersen também oferece equipamentos e peças dedicadas às restrições desta indústria:
- Cadinho de grafite purificado
- Aquecedor de grafite purificado
- Grafite ou compósitos C/C de proteção térmica cilíndrica
- Feltro macio e isolamento de carbono rígido para controlar os gradientes térmicos do crescimento cristalino
- Parafusos de compósito carbono/carbono
O processo de crescimento de cristal único (Método Czochralski - CZ)
Este método de cristalização de silício a mais de 1425° C é utilizado para fabricar lingotes de cristal cilíndricos de grande dimensão, devido ao controle muito preciso do gradiente de temperatura no forno.
Esses lingotes são então cortados com uma serra de fio para obter "wafers" de silício, usados nas indústrias de microeletrônica e fotovoltaica.
A Mersen fornece os seguintes elementos:
- Cadinho de grafite purificado
- Elemento de aquecimento de grafite purificado
- Isolamento rígido de zona quente
- Grafite e escudo térmico compósito C/C
- Isolamento do forno.
Sistemas de Solidificação Direcional (DSS):
O arrefecimento do banho de silício fundido é controlado para obter solidificação do lingote com zonas cristalinas muito amplas. Esses lingotes são então fatiados com uma serra de arame para obter "wafers" de silício, usados principalmente na indústria fotovoltaica.
A Mersen fornece os seguintes elementos:
- Elemento de aquecimento de grafite purificado
- Isolamento de carbono rígido de zona quente
- Fixadores compostos
- Placa composta
Contato Brasil
vendas.gs.brasil@mersen.com
Bairro Pinhal
CEP: 13315-000
Cabreúva - SP
+55 11 2348-2369
+55 11 2348-2360
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Documentação do produto
CALCARB® rigid carbon insulation CBCF 15-2000
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CALCARB® rigid carbon insulation CBCF 15-2000Purified graphite silicon carbide graphite enhancement
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