Isolamento: fabricação de polissilício

Propomos produtos descartáveis ​​e equipamentos dedicados à indústria de fabricação de polisilício:

Durante os processos de deposição, uma parte significativa do gás é transformada em STC (SiCl4). Para aumentar o rendimento, este STC deve ser reciclado como TCS em um reator de hidrogenação a alta temperatura a 1.500° C.

A Mersen é líder reconhecida neste mercado devido à sua oferta particularmente competitiva e abrangente:

Dentro da câmara de quartzo de um reator, microgrânulos de silício são descarregados em um fluxo oposto de silano. O reator e a entrada de gás são aquecidos por um aquecedor de grafite e isolados por feltro rígido. O silano se decompõe em silício e expande os micro-grãos. O silício puro é recuperado na forma de contas.

A câmara do reator de quartzo contém hastes de silício muito finas em forma de U montadas nos eletrodos de grafite purificados. As hastes de silício aquecem devido à corrente elétrica fornecida pelos eletrodos de grafite. O triclorossilano gasoso SiHCl3 (TCS) penetra na câmara de deposição a uma temperatura elevada e decompõe-se, depositando silício puro nos bastões quentes.

Quando o processo de deposição é concluído, as hastes de silício são removidas do reator e quebradas para recuperar o polissilício.

A Mersen fornece eletrodos de grafite ultra-puros, usados ​​como descartáveis ​​para esse processo.